Keine Angaben welchen Umsatzbeitrag die Metrologiesysteme generieren.
Es wird auch keine Meldung mehr verbreitete wie es mit dem Auftrag aus China aussieht, wieviel wurde dafür schon produziert, wie ist der aktuelle Stand mit der Auslieferung der Anlagen usw. Es wurde sehr ruhig um Tepla.
So wird Tepla nicht aus dem Abwärtstrend rauskommen.
EQS-News: Neues Metrologiesystem zur Überwachung von Implant Prozessen bei weiterem Key Account Kunden erfolgreich
EQS-News: [PVA TePla AG] Neues Metrologiesystem zur Überwachung von Implant Prozessen bei weiterem Key Account Kunden erfolgreich
Corporate-Mitteilung übermittelt durch die EquityStory AG.
Für den Inhalt der Mitteilung ist der Emittent verantwortlich.
Feldkirchen/Jena, 09. November 2005: Das neukonzipierte Metrologiesystem
durch. Sony hat inzwischen drei Geräte im Einsatz; mit Toshiba hat sich ein
zur Prozessüberwachung bei Ionen Implantationen entschieden.
der ständig überwacht werden muss. Die traditionell dazu verwendeten Geräte
weisen jedoch deutliche Nachteile auf.
Wafer bis 300mm messen und ist für Reinräume der Klasse 1 geeignet. Durch
des Laserlichts variiert und optimal auf das jeweilige Implantationsrezept
angepasst, womit die Empfindlichkeit der Messung weiter gesteigert wird.
Das benutzerfreundliche TWIN System bietet Datenausgabe als 3D-Grafiken für
Gleichmäßigkeit, tägliche und wöchentliche Überwa-chungskurven sowie
Dosis-Korrelation mit polynomischer Kurvenangleichung der höheren Ordnung.
Die vollautomatische Beladung, ein Bilderkennungsmodul für die Messung auf
Produktwafern, Leser für Los- und Wafernummern sowie ein
Kommunikationspaket für Hostrechner des SECS GEM 300 Standards sind
optional verfügbar.
Über PVA TePla
Die PVA TePla AG ist ein seit Jahrzehnten etablierter Anbieter für Systeme
und Anlagen zur umweltfreundlichen Erzeugung und Bear-beitung hochwertiger
Industrie-Werkstoffe. Der Vakuum-Spezialist für Hochtemperatur und Plasma
ist im Weltmarkt führend bei Hartmetall-Sinteranlagen, Kristallzuchtanlagen
sowie Anlagen zur Oberflächenaktivierung mittels Plasma. Mit ihren Systemen
und Dienstleistungen unterstützt PVA TePla wesentliche Prozesse von
Industrieunternehmen, insbesondere in der Metall-, Keramik-, Kunststoff-,
Halbleiter-, Hartmetall- und Elektro/Elektronikindustrie, aber auch
Forschungs- und Entwicklungseinrichtungen, die sich mit
Materialtechnologien befassen. Darüber hinaus bietet das Unternehmen
innovative Komponenten und Lösungen für die Reinigung von Frischwasser,
Abwasser sowie von Oberflächen durch UV-C-Strahlung. Seit dem 21. Juni 1999
werden die Aktien des Unternehmens an der Frankfurter Wertpapierbörse
gehandelt, seit dem 1. Januar 2003 notiert die Aktie im Börsensegment
Prime Standard (ISIN
DE0007461006, Reuters TPEG).
Kontakt:
PVA TePla AG
Peter Banholzer
Tel.: ++(0)6441 / 5692-342
Fax: ++(0)6441 / 5692-111
e-Mail: peter.banholzer@pvatepla.com
Internet:
www.pvatepla.comEquityStory AG 09.11.2005
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Sprache: Deutsch
Emittent: PVA TePla AG
Emmeliusstr. 33
35614 Asslar Deutschland
Telefon: +49 (0)89 905 03-106
Fax: +49 (0)89 905 03-147
Email: ir@pvatepla.com
WWW:
www.pvatepla.comISIN:
DE0007461006WKN:
746100Indizes: CDAX, PRIMEALL, TECALLSHARE, GEX
Börsen: Geregelter Markt in Frankfurt; Freiverkehr in Berlin-Bremen,
Hannover, Düsseldorf, Hamburg, Stuttgart
Ende der Mitteilung EQS News-Service
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EQS-News: [PVA TePla AG] New Metrology System for Monitoring Ion Implant Process successful at another Key Account
PVA TePla AG / Product Launch
09.11.2005
Corporate-announcement transmitted by EquityStory AG.
The issuer is solely responsible for the content of this announcement.
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Feldkirchen/Jena, 09. November 2005: The newly designed Metrology system
TWIN SC4 of the Plasma Systems Division prevails in the semiconductor
market. Sony is already operating 3 systems while Toshiba as another
worldwide account decided to use the innovative TWIN System for implant
process monitoring in their chip production.
Ion Implantation is a very important process step within the manu-facturing
of integrated circuits (computer chips) as it is very sensitive utilizing
rather complex equipment. Hence constant monitoring of implant results is a
must to ensure product quality, where the traditionally used systems are at
disadvantage.
The novel TWIN System utilizes a laser based measurement, measuring wafers
up to 300mm with design for state-of-the-art class 1 clean rooms. The
implemented double-modulation technique allows variation of excitation
frequency as well as intensity of the laser optimising the measurement for
each of the many Implant recipe greatly improving the sensitivity and
reliability of the results.
The user friendly TWIN system offers Output data as 3d graphics for
implant uniformity as well as daily and weekly performance monitoring and
tracing of trends. In addition it offers dose correlation using polynomic
curve fitting. It features fully automatic loading, pattern recognition for
measurement on production wafers and a communication package for factory
automation communication according to SECS GEM 300 Standards. Bar code
readers for wafer and lot ID are optionally available.
About PVA TePla
For decades already, PVA TePla AG has been an established supplier of plant
and systems for eco-friendly production and processing of high-quality
industrial materials. As a vacuum specialist for high-temperature and
plasma treatment, the company is a leading player on the world market for
hard-metal sintering plant, crystal growing facilities and plant for
surface activation using plasma. With its systems and services, PVA TePla
supports key processes in industrial companies, particularly in the metal,
ceramics, plastics, semiconductor, hard metals and electrical/electronics
industries, as well as in research and development institutes centred on
materials technologies. The company also supplies innovative components and
solu-tions for purifying freshwater, wastewater and surfaces by means of
UV-C radiation. Shares in the company have been traded on the Frankfurt
Stock Exchange since 21 June 1999; the company has been listed in the Prime
Standard segment (ISIN
DE0007461006, Reuters TPEG) since 1 January 2003.
Contact:
PVA TePla AG
Peter Banholzer
Fon: + 49 (0)6441 / 5692-342
Fax: + 49 (0)6441 / 5692 -111
eMail: peter.banholzer@pvatepla.com
Internet:
www.pvatepla.comEquityStory AG 09.11.2005
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language: English
emitter: PVA TePla AG
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